露點溫度控制精度 | ±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)） | ±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)） | ±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)） | ±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)） |
反應氣體溫度控制精度 | ±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)） | ±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)） | ±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)） | ±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)） |
